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SEM是scanning electron microscope的缩写,中文即扫描电子显微镜。该设备的设计理念和工作原理最早在1935年提出。到了1942年,英国成功制造了第一台用于实验室的扫描电镜。然而,由于其成像分辨率较差且拍照时间过长,实用性有限。随后,各国科学家不懈努力,特别是随着电子工业技术水平的不断提升,到了1956年,扫描电镜开始投入商品生产。在过去的几十年里,扫描电镜已广泛应用于生物学、医学、冶金学等多个学科,极大地推动了相关领域的发展。