专利名称：一种电子束激发荧光成像和荧光光谱测量装置及其
方法
专利类型：发明专利发明人：朱瑞,徐军,刘亚琪申请号：CN201610894552.0申请日：20161013公开号：CN107941831A公开日：20180420
摘要：本发明公开了一种电子束激发荧光成像和荧光光谱测量装置及其方法。本发明的电子束激发荧光成像和荧光光谱测量装置包括：扫描电子显微镜系统、扫描信号发生器、荧光收集耦合传输系统、荧光强度探测器、荧光光谱探测器、扫描同步信号采集器、协同控制与数据处理输出系统；本发明采用模块化的构架，各模块的配置调整及后续升级非常灵活便利；各模块在协同控制与数据处理输出系统的统一同步协调控制下相互配合工作，保证严格的时序和逻辑顺序，并能够通过反馈交互信号检测各模块的运行情况，最终实现高精度的电子束激发荧光成像和荧光光谱测量；荧光收集耦合传输系统能够和荧光光谱探测器极大提高了扫描电子显微镜的分辨率。
申请人：北京大学
地址：100871 北京市海淀区颐和园路5号
国籍：CN
代理机构：北京万象新悦知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：王岩
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