洁净室检测2

一、概念

1、洁净室相关概念

洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。

洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间，它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。

空气洁净度是指洁净环境中空气含尘（微粒）量多少的程度，含尘浓度高则洁净度低，含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示，也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超过另一个高的含尘浓度止，这一个含尘浓度范围为某一个空气洁净度级别。 2、洁净室的检测状态可分为三类： （1）、空态

设施齐全的洁净室，所有管线接通并运行，但无生产设备、材料及生产人员。 （2）、静态

已全部建成的设施齐备的洁净室中，安装完生产设备并按业主供应商商定的方式试远转，但场内无生产人员。 （3）、动态

设施处于按规定方式运行的状态，并有规定的人员在场以规定的方式工作。 二、室内静压差的测试 （1）仪器设备及环境

测量仪器：倾斜微压计、数字微压计等。 环境温度：常温或设计温度下。

（2）抽样 对有设计要求的各个相邻区域实施检测。 （3）技术要求

静压差检测结果应符合下列规定：

①相邻不同级别洁净室之间和洁净室与非洁净室之间的静压差应不小于5Pa。 ②洁净室与室外静压差应大于10Pa。

③洁净度高于100级的单向流（层流）洁净室在开门状态下，在出入口处的室内侧0.6m处不应测出超过室内级别上限的浓度。 （4）操作过程及判定

①将所有的门关闭，将测定用胶管（口径最好在5mm以下）从墙壁上的孔洞伸入室内，在离壁面不远处垂直于气流方向设置，周围无阻挡，气流扰动最小。 ②静压差的测定应从平面上最里面的房间，通常也就是洁净度级别最高的房间与其紧邻的房间之间的压差测起，依次向外测定，直至测得最靠外的洁净室与周围附属环境之间、与室外环境之间的压差。

③对于洁净度高于5级的单向流（层流）洁净室，还应测定在门开启状态下，离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。 （5）检测时的注意事项

在进行洁净室静压差检测之前，必须先验证在洁净室或洁净设施正常工作时，应该关闭的门全部关闭条件下的送风量与回风量、排风量是否与规定风量相符。若达不到标准的要求，应重新调整新风量、排风量，直至合格为止。