专利名称：极紫外线覆盖层及其的制造与光刻方法专利类型：发明专利
发明人：卡拉·比斯利,拉尔夫·霍夫曼,马耶德·A·福阿德,鲁迪·
贝克斯特罗姆三世
申请号：CN201580036643.4申请日：20150703公开号：CN106663601A公开日：20170510
摘要：一种制造极紫外线反射构件的方法，其包括：提供基板；在所述基板上形成多层堆叠，所述多层堆叠包括多个反射层对，这些反射层对具有第一反射层与第二反射层以形成布拉格反射器；以及在所述多层堆叠上形成覆盖所述多层堆叠的覆盖层，所述覆盖层由氧化钛、氧化钌、氧化铌、钌钨、钌钼或者钌铌形成，并且所述覆盖层通过减少氧化与机械侵蚀来保护所述多层堆叠。
申请人：应用材料公司
地址：美国加利福尼亚州
国籍：US
代理机构：北京律诚同业知识产权代理有限公司
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