专利名称：一种制备多晶硅薄膜的装置专利类型：实用新型专利发明人：刘丰
申请号：CN200920028480.7申请日：20090702公开号：CN201444476U公开日：20100428
摘要：本实用新型公开了一种制备多晶硅薄膜的装置，包括一个中转工作室，所述中转工作室分别连接有一个化学气相沉积工作室、一个物理气相沉积工作室和第一加载互锁真空腔体，中转工作室还可以连接有第二加载互锁真空腔体，所述中转工作室内部为真空状态。本实用新型既能形成无氢的非晶硅薄膜，又能形成膜质良好的缓冲层。
申请人：济宁凯伦光伏材料有限公司
地址：273517 山东省济宁市邹城市里能工业园
国籍：CN
代理机构：北京市德权律师事务所
代理人：王建国
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