材料安全数据表(MSDS)

材料安全数据表(MSDS)

第1部分 产品概述 产品名称： 硅烷 Silane

化学名称： 氢化物 分子式：SiH4 代名称： 四氢化硅，单硅烷，硅烷

第2部分 主要组成与性状 SiH4纯度> 99%

CAS 号码: 7803-62-5 暴露极限:

OSHA : 未建立 ACGIH: TLV＝5ppm NIOSH： REL＝5ppm

第3部分 危害概述 紧急情况综述

可自燃气体! 硅烷是一种无色、与空气反应并会引起窒息的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。它对健康的首要危害是它自燃的火焰会引起严重的热灼伤，如果严重甚至会致命。如果火焰或高温作用在硅烷钢瓶的某一部分会使钢瓶在安全阀启动之前爆炸。如果泄放硅烷时压力过高或 速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。处理紧急情况的人员必须要有个人防护设备和适应当时情况的防火保护。不要试图在切断气源之前灭火 。

急性潜在健康影响

暴露途径：

眼接触：硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅 。眼睛接触无定型二氧化 硅颗粒会引起刺激。

摄入：摄入不可能成为接触硅烷的途径。

吸入：吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。

皮肤接触：硅烷会刺激皮肤。硅烷分解产生无定型二氧化硅 。皮肤接触无定型二氧化 硅颗粒会引起刺激。

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重复暴露的潜在健康影响： 进入路径：无 损害器官：未建立

症状：目前不清楚长期暴露于硅烷中对健康的进一步影响。

过份暴露造成的病状恶化：有皮肤和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物 中会加重病情。

致癌性：未被 NTP、OSHA 及 IARC列为致癌物

第4部分 急救措施 热灼伤：由于硅烷泄漏引起人员灼伤时应由受过培训的人员进行急救，并立即寻求医疗处理。

眼接触：立即用水冲洗最少15分钟，水流不要太快，同时翻开眼睑。使受难者为“O”形眼，立即寻求眼科处理。

摄入：摄入不可能成为接触硅烷 的途径。

吸入：将患者尽快移到空气清新处。如有必要由受过培训的人员进行输氧或人工呼吸。 皮肤接触：用大量的水冲洗最少15分钟。脱掉已暴露在硅烷 中或 被污染的衣服，小心不要接触到眼睛。如果患者有持续的刺激感或其他进一步的健康影响需立即进行医疗处理。 医生须知：如有必要需吸氧。观察患者是否有肺炎初期症状。

第5部分 火灾和爆炸 闪点： 自燃点： 燃烧极限:

未建立 不清楚 ( LEL):1.4% (UEL): 96.0% 灭火剂：切断气源灭火 。用水雾减少空气中形成的燃烧产物。不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火 焰中的钢瓶。

特殊灭火指导：从泄漏区疏散所有人。如有可能，在没有危险的情况下切断气源之后根据燃烧的物质灭火 。用水雾减少空气中形成的燃烧产物。水可能对扑灭硅烷的火灾不起作用。不要用卤化 物类灭火剂。如有可能，阻止泄漏。不要试图在切断气源之前灭火。这样可以避免可燃性气体混合物的累积和重燃。对于小型的泄漏，如果不能阻止泄漏而且泄漏也不会伤害人员，让火焰自然熄灭。用大量的水为周围的钢瓶喷淋降温，直到火焰熄灭。在大的火灾中，应该用自动管支架和控制喷嘴从远距离灭火 。处理火灾初起时，要对眼睛进行保护。如果是大火，需要自给式呼吸器和全身防护服，包括防火服。如有必要，用肥皂水刷洗灭火设备。

异常火灾和爆炸危害：可自燃气体。本产品是一种无色、与空气反应的气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。如果泄放硅烷时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。 大多数钢瓶设计了温度升高时的泄放装置。由于热量的作用气瓶内压力会升高，如果泄压装置失灵会引起钢瓶爆炸。

危害性燃烧产物：包括氧化硅在内的燃烧产物

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第6部分 意外泄漏应急处理 释放及泄漏步骤：

撤离立即受影响区域。硅烷是一种可自燃气体。该气体通常与空气接触会引起燃烧并放出很浓的白色的无定型二氧化硅烟雾。不受控制的泄漏需要由经过培训的人员按照事先拟好的计划进行处理。硅烷的泄漏一般都会引起火灾 。如果硅烷泄放时压力过高或速度过快会引起滞后性的爆炸。泄漏的硅烷如没有自燃会非常危险，不要靠近。如有可能切断泄漏的气源，隔离泄漏的钢瓶。如果不能阻止泄漏(或不能接近阀门)，让钢瓶在原地泄放或将钢瓶移到一个安全的地方泄放。

若从容器内及泄压阀或其他阀门泄漏，请与供商联系。若泄漏来自用户系统，关掉钢瓶阀门，在修复前一定要泄压并用惰性气体吹扫。所有人员都要有防护，泄漏区要受到控制 。所有应急反应人员都要有适当的防护，以避免暴露于硅烷中。监测周围环境中的硅烷含量。只有硅烷含量在允许范围内时(见第二部分)，人员才能在没有自给式呼吸器的情况下进入。进入前，可燃性气体的浓度一定要低于0.14%，也就是硅烷LEL的10％。进入前要争取关闭气体的总阀门。

第7部分 使用与储存 储存：在通风良好、安全且不受天气影响的地方存储。钢瓶应直立摆放。且保持保护性阀盖和输出阀的密封完好。存储区域应远离频繁出入处和紧急出口。储存区域内不应有火源，储存区内所有电器必须有防爆设施。易燃物存放区应与氧及氧化物存放区最少相距20ft 。或者在中间放置至少5英尺高的非易燃材料作为屏障，

以保证能耐火半小时。储存区和使用区内应有“禁止吸烟和使用明火”的告示牌。 存储温度不可高于125F(52C)。将空瓶与满瓶分开存放。避免过量存储和存储时间 过长。使用先进先出系统。应考虑在储存区内安装测漏器和报警设备。

使用：使用防火花工具。不要试图对装有硅烷的钢瓶进行修理、调节或其他改动。如果 出现故障或其他操作问题，请立即与最近的分销商联系。如有可能应避免单独一个人操作 钢瓶。所有的操作都应这样进行－－一旦发生泄漏，处理紧急情况的人员可以立即赶到。 用氢离子检测器监测硅烷的修理和在空气中的扩散，用红外/紫外监测器监测火灾 。所以的监测器都应有内锁，一旦发现问题立即自动切断硅烷气源。监测系统应装备备用或应急电源。必须有遥控紧急开关，必要时可关闭硅烷气源。硅烷系统中不允许使用填压阀，只允许使用非填压的膜阀和波纹管阀。在其分配系统中应安装过流阀或过流开关。这样可以在下游管线发生爆炸时切断气源。这个开关阀应安装得离气源越近越好。一定不要拉、滚动或滑动容器。用合适的手推车来移动容器，不要试图抓住气瓶的盖子来拎起它。保证气瓶在使用的全过程中为固定状态。用一个减压器或独立的控制阀安全地从气瓶内释放气体。用单向阀来防止倒流。不要用明火或其它附近的热源加热钢瓶的任何部分。一旦钢瓶与吹扫和钝化过的系统连接好，应缓慢仔细地打开钢瓶阀。如果使用者在操作气瓶阀时有困难，需停止使用，并与供应商联系。 不可将工具(如：扳手，螺丝刀，等) 插入阀盖内。 否则会 损坏阀 门并引起泄漏。 使用可调节的带扳手来打开过紧或生锈的阀盖。所有管路和相关设备接地。电器设备必须防火花和防爆。

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特殊注意事项：系统温度不可低于－170℉ (－112℃)，否则可能会吸入空气形成爆炸性混合物 。不要让硅烷与重金属卤化物或卤素接触，硅烷与它们剧烈反应。应仔细吹扫系统，以防残留有脱脂剂，其中所含的卤素或其他含氯的碳氢化合物。用二至三倍的工作压力对系统进行全面加压检漏，最好使用氦气。此外，还应建立和执行常规的检漏制度。系统检漏或因其他原因打开之后，应使用抽真空或惰性气体吹扫的方法将系统中的空气吹扫干净。在打开任何装有硅烷的系统之前必须用惰性气体全面吹扫系统。如果系统中的任何部分有死角或可能残留硅烷的地方，必须抽真空循环吹扫。应将硅烷排放到一个专门处理它的地方，最好是将它燃烧掉。即使硅烷浓度较低也十分危险，不能暴露在空气中。硅烷在被惰性气体稀释成不可燃的气体后也可以排空。

应按照美国压缩气体协会的要求储存和使用压缩气体。当地可能对储存和使用气体要求有特殊的设备规定。

第8部分 暴露控制/个人防护措施 工程控制：

通风: 在使用和储藏该产品的区域或其邻近区域应安装硅烷探测器。提供充足的自然或防爆通风以防止气体浓度的增加，确保硅烷没有达到1.4％燃烧下限。如适用，安装自动监视设备来探测爆炸性混合空气和氧含量。

呼吸保护：能引起快速窒息的高浓度也在其燃烧极限范围内，不能进入。 紧急情况: 需使用逃生用自给式呼吸器。

对眼的保护: 佩戴防溅眼镜或有侧防护的安全眼镜和面罩。确保使用该产品的附近区域有安全淋浴及洗眼器。

对皮肤的保护: 当操作钢瓶时使用工作手套，在紧急情况时使用防火手套和防火衣。处理泄漏时戴两付手套。

其它防护设备：工作时使用恰当的身体防护用品，推荐使用防静电衣，操作钢瓶时建议穿安全鞋。 第9部分 物理和化学特性 外观，嗅觉及状态：无色气体，有窒息影响。 分子量：32.12

沸点：（1个大气压）: -169.0F（-111.7 C) 比重：（空气＝1) 1.2

冰点/熔点: －301.0F（－185.0 C) 蒸汽压: ( 70F(21.1C)): 不适用

气体密度:( 70F(21.1C)1个大气压下):0.084lb/ft3 水溶性: 可以忽略

第10部分 稳定性和反应活性 化学稳定性： 自燃，暴露在空气中会自燃。

需避免的情况： 钢瓶储存温度不可高于125℉(52℃) 不兼容性：空气、卤素、其他氧化剂和潮气。

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反应活性:

A) 有害的分解物：未适用

B) 有害的聚合反应： 不可能 发生

第11部分 毒性学资料 LC50(吸入)： 老鼠LC50：9600ppm/4小时 LD50( 口服)：没有数据 LD50(皮肤)：没有数据

皮肤腐蚀性：硅烷不腐蚀皮肤。当它与水接触后形成硅酸，硅酸腐蚀皮肤。 致癌性：至今未被发现致癌。

其他注意事项：研究发现，当老鼠暴露在10000ppm下1小时或 ≥2500ppm下4小时会 对肾产生影响。老鼠暴露在1000ppm，6小时/天，5天/周下2到4周后只有轻微的呼吸道刺激。硅烷会引起细菌的变异。 第12部分 生态影响 水中毒性：没有数据

流动性：由于在空气中自燃，它会在进入土壤之前燃烧掉。

持续性及生物降解：由于在空气中燃烧并分解，硅烷不会在环境中长期存在。 潜在的生物富集：硅烷不会在生物中积累。

注：硅烷不含有任何1类或2类的分解臭氧的化学物质。

第13部分 废弃处理 未使用过的产品/空的容器：将容器及未用的产品返回给供应商。不要将剩余或未用的 产品擅自处理掉。

处理方法: 系统中剩余的硅烷应在适当的燃烧器中烧掉。该过程应根据当地的法规进行。含有该物质的废物被EPA列位有害废物。按照当地的法规, 用户要注明废料的流向。

第14部分 运输信息 DOT运输名称: 硅烷，压缩气体 危险级别: 2.1(可燃气体) DOT运输标签: 可燃气体 识别编号: UN2203 告示牌：可燃气体

特殊的运输信息:钢瓶应直立在通风设施良好的卡车上进行运输，不要在人员乘坐的车厢 内运输。运输前应确认瓶阀已关好，输出阀已装好并将阀盖固定好。压力气瓶只能由合格的压缩气体生产厂家进行重新充装。擅自运输未经压力气瓶所有厂家充装或经其书面同意充装的气瓶为违法行为。

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第15部分 相关法规 美国联邦政府的法规：

EPA－环境保护署 CERCLA：Comprehensive Environmental Response,Compensation,and Liability Act 1990(40 CFR Parts 117 and 302) 需报告的数量(RQ):无

SARA TITLE III：Superfund Amendment and Reauthorization ACT SECTION 302/304: 紧急计划与通知(40 CFR Parts 355) 极端有害物质：硅烷未被列入 计划限制数量(TPQ):无 需报告的数量(RQ):无 SECTION 311/312: 有害化学品报告(40 CFR Part 370) 立即对健康有害：是 压力：是 稍后对健康有害：否 反应性：是 火 灾：是 SECTION 313: 有毒化学品泄漏报告(40 CFR Part 372) 根据SECTION 313硅烷未被列为需报告的化学品。 CLEAN AIR ACT： SECTION 112(r):Risk Managment Programs for Chemical Accidental Release (40 CFR Part 68) 硅烷被Section 112(r)列为被管理的物质 限制数量(TQ):10,000lbs(4,533kg) TSCA－有毒物质控制法案 硅烷被列入TSCA的目录中

OSHA－OCCUPTIONAL SAFETY AND HEALTH ADMINISTRATION： 29 CFR Part 1910.119: 非常有害化学品的安全管理 硅烷未被列为非常有害的化学品 限制数量(TQ)：10,000lbs(4,533kg) 第16部分： 其它信息 危害等级： NFPA 等级 HMIS等级

健康： 1 健康： 1 可燃性： 4 可燃性： 4 反应性： 3 反应性： 3 特殊说明： 无

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